13 非單向流

送人潔凈室(區(qū))的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。

14 混合流

單向流和非單向流組合的氣流。

15 潔凈工作區(qū)

指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m~1.5m的區(qū)域，工藝特殊要求除外。

16 空氣吹淋室

利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)人潔凈室人員表面附著粒子的小室。

17 氣閘室

設(shè)置在潔凈室出人口，阻隔室外或鄰室污染氣流和控制壓差而設(shè)置的緩沖間。

18 傳遞窗

在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的窗扇。

19 空態(tài)

設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的狀態(tài)。

20 靜態(tài)

設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

21 動(dòng)態(tài)

設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。

22 高效空氣過(guò)濾器 (HEPA)

額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過(guò)濾器。

23 超高效空氣過(guò)濾器 (ΜLPA)

額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1μm~0· 2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過(guò)濾器。

24 自凈時(shí)間

潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)所需的時(shí)間。

25 生物潔凈室

潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。

26 浮游菌

懸浮在空氣中的帶菌微粒。

27 沉降菌

降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。

28 U描述符

每立方米空氣中包括超微粒子（小于0.1μm）的實(shí)測(cè)或規(guī)定濃度。

29 M描述符

每立方米空氣中實(shí)測(cè)的或規(guī)定的微粒子（大于5μm）。

30 工業(yè)管道

潔凈廠房?jī)?nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。

二、空氣潔凈度等級(jí)

1 空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)及濃度限值

注:按不同的測(cè)量方法，各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過(guò)3位。

2 最大濃度限值計(jì)算

Cn——大于等于要求粒徑的最大濃度限值（pc/m3），取整，有效位數(shù)不超過(guò)三位。

N——空氣潔凈度等級(jí)，可取至小數(shù)點(diǎn)后一位。

D——要求的粒徑（μm）

0.1——常數(shù)，量綱為0.1μm

3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí)，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

4 空氣潔凈度等級(jí)的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm~0.5μm，超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補(bǔ)充說(shuō)明。

注：此處粒徑范圍，根據(jù)上述潔凈度整數(shù)等級(jí)及濃度限值，以及U描述和M描述的定義，感覺(jué)應(yīng)為0.1μm~5μm。

5 空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。

6 當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對(duì)各空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

三、總體設(shè)計(jì)

1 潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。

2 人員凈化用室和生活用窒的設(shè)計(jì)，單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。

3人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。

4 潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，宜按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人2m2~4m2計(jì)算。

5 根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜符合下列規(guī)定:

1） 總風(fēng)管風(fēng)速宜為6m/s~10m/s。

2）無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為4m/s~6m/s。

3）有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為2m/s~5m/s。

四、空氣凈化

1 潔凈室的溫、濕度要求

2 供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小40m3/h。

3 不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

4 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。

負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

5 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。

6 氣流流型及送風(fēng)量，如下表所示

7 空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量，其布置要求如下表所示。

8 空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室不得采用散熱器采暖。

9 潔凈廠房中的疏散走廊應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。

10 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動(dòng)密閉閥、調(diào)節(jié)閥,送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥,潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動(dòng)密閉閥。

11 在空氣過(guò)濾器的前、后應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。